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    等離子清洗機廠家丨微波PLASMA提升Die Bonding工藝可靠性

    更新時間:2023-03-07      點擊次數:617
      Die Bonding就是將芯片裝配到基板或框架上去,常用的方法有共晶焊接、銀膠粘接、鉛錫合金焊接等。
      
      前面我們一起了解了微波PLASMA在半導體IC制程封裝的作用及優勢。今天讓我們再一起探討芯片的銀膠粘接工藝,看看微波PLASMA如何提升芯片粘接可靠性。
      
      一、銀膠粘接的主要作用
      
      銀膠是一種固化或干燥后具有一定導電性能的膠黏劑,小功率芯片互聯、非可焊接表面的互聯,都需要選擇銀膠來進行。
      
      銀膠的主要作用:
      

    銀膠的主要作用

     

      銀膠粘接的主要作用是給芯片與基板或框架之間,提供良好的導電導熱性和固化效果。因此芯片與基板或框架之間,不止需要形成良好的導電通路,還需要具備一定的粘接強度。
      
      二、影響芯片粘接的因素
      

    影響粘接

     

      芯片粘接可靠性是電子封裝質量的一個關鍵因素,它直接影響了整個IC電路的質量和壽命。
      
      基板或框架表面是否存在有機物污染和氧化膜、芯片背面硅晶體的浸潤性等,均會對粘接效果產生影響。
      
      三、如何提升芯片粘接可靠性
      
      芯片粘接可靠性提升途徑:
      
      1、使用微波PLASMA去除基板或框架表面的有機物污染;
      
      2、使用微波PLASMA活化芯片背面,改善硅晶體表面活性,提高其浸潤性。
      

    微波PLASMA等離子清洗機

     

    微波PLASMA效果驗證

     

      實驗證明
      
      使用微波PLASMA等離子清洗機,處理芯片表面和框架表面,能有效地清潔并改善表面的浸潤性,從而提升芯片粘接的效果。
      
      為保證Die Bonding后的器件性能,必須在不破壞芯片及其他所用材料的表面特性、電特性等前提下,去除表面的有機污染物和氧化膜等。射頻等離子技術因處理溫度高,均勻性不夠,射頻電流易導致芯片損壞等原因,已無法滿足現在的技術需求。
      
      晟鼎精密自主研發微波等離子發生器,高效均勻,助您無損去除精密器件表面的有機物污染、并活化器件表面,從而改善可制造性、可靠性以及提高成品率。

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